真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品，產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。在我國，真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品，但是雖然它的產(chǎn)量很大，但是產(chǎn)值卻不高。雖然真空泵是一個直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品，不過在真空泵產(chǎn)品的高端領(lǐng)域.，國產(chǎn)真空泵并不多，大量的市場份額被進(jìn)口企業(yè)所把持。真空泵的市場發(fā)展速度可以用日新月異來形容，幾乎每時每刻都在根據(jù)用戶需求的變動而動態(tài)變化著。真空泵市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展、真空泵技術(shù)不斷革新以及真空泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。

2015年3月16日，紐約PRNewswire，2015-2018中國真空泵行業(yè)報告中指出，真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等領(lǐng)域，近年來，隨著冶金、化工、食品等行業(yè)的快速發(fā)展，真空泵的市場也增長迅速。2014年，中國真空泵的產(chǎn)量達(dá)到956萬臺,同比增長了7.2%。據(jù)此預(yù)測，至2018年這個數(shù)字很有可能攀升至1184萬臺，其中有5.5%的年均復(fù)合增長率。

　　國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa，抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點。

　　干式真空泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、電影、儀器、醫(yī)藥、食品等范圍廣泛的行業(yè)，市場上超過50%的產(chǎn)品是進(jìn)口的，尤其在半導(dǎo)體行業(yè)中，絕大多數(shù)的真空泵均為國外，國產(chǎn)真空泵主要應(yīng)用于化工等行業(yè)。

　　水環(huán)式真空泵行業(yè)在國內(nèi)和國際市場上發(fā)展形勢都十分看好，我國這幾年的水環(huán)式真空泵發(fā)展態(tài)勢十分好，專家預(yù)測，到2020年，中國的水環(huán)式真空泵進(jìn)口額將達(dá)到驚人的50億美元。屆時將排在水環(huán)式真空泵進(jìn)口額3到6位的分別是：日本、印度、德國和法國。

　　近十年來，在少數(shù)水環(huán)式真空泵企業(yè)的帶動下，多品種、密封性能、強度要求、調(diào)節(jié)功能、動作性能和流通性能，特別是密封性能，都有了長足的進(jìn)步。但就整體來說，差距還很大，有很多工作要做。

　　目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點,但其制造技術(shù)為國外掌握,我國尚處于起步階段,市場對于干式真空泵有迫切的需求。

　　目前干式螺桿真空泵國內(nèi)的研究還處在起始階段，很多技術(shù)難題還沒有解決。比如轉(zhuǎn)子涂層防腐蝕技術(shù)、降低排氣口溫度、增大轉(zhuǎn)子面積利用率等問題仍然很棘手，當(dāng)抽取一些活潑氣體時，由于排氣溫度高,安全性也是需要設(shè)計中考慮的，用在需要控制音量的場合，如何降噪也要成為研究方向。但其優(yōu)越的性能決定了它一定會在真空獲得設(shè)備行業(yè)占主導(dǎo)地位，就像現(xiàn)在螺桿壓縮機在行內(nèi)的統(tǒng)治地位一樣。

　　隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價格又很低，所以有的國外真空廠商在中國建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān)，價格又遠(yuǎn)比國外的泵便宜，所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運行穩(wěn)定，同時還要進(jìn)一步提高國產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。水環(huán)真空泵作為新一代節(jié)能型產(chǎn)品，在市場上普遍受歡迎，水環(huán)式真空泵目前已經(jīng)得到廣泛的使用，如在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾、真空引水、真空送料、得到廣泛的應(yīng)用，在市場上的需求量大。

　　國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場，必須進(jìn)一步降低泵的振動噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長期運行的穩(wěn)定性。

　　從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國外羅茨泵的價格遠(yuǎn)比國產(chǎn)泵要高得多。目前，國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國際市場，這樣就必須進(jìn)一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲，解決軸封漏油問題，改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運行的穩(wěn)定性。

　　目前，國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì)，實際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。

　　分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。

　　由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場合的需要。

　　國內(nèi)廠家：信然螺桿真空泵【上海信然壓縮機有限公司】【信爾勝機械（江蘇）有限公司

信然噴油/干式螺桿真空泵技術(shù)

結(jié)構(gòu)簡單合理，零件種類、數(shù)量少，維護(hù)方便。比傳統(tǒng)真空泵節(jié)能明顯。

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轉(zhuǎn)子型線嚙合均勻，密封性好，抽氣效率高；
轉(zhuǎn)子作G1級動平衡實驗，泵運行震動小。

精湛的設(shè)計與制造

排氣路徑短，減少制程物沉積；
采用密封式結(jié)構(gòu)，避免了因動密封磨損而出現(xiàn)的潤滑油外漏現(xiàn)象。

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轉(zhuǎn)子作G1級動平衡實驗，泵運行震動小。

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