螺桿式真空泵也是基于靜態(tài)壓縮系統(tǒng)，作為設(shè)計原理，與羅茨泵的壓力產(chǎn)生是通過“內(nèi)部”體積的減少相反。

螺桿式真空泵是由兩根螺桿組成，一根右旋螺紋另外一根左旋螺紋。兩根結(jié)合的非常密致螺桿，無摩擦的向壓縮腔轉(zhuǎn)動，經(jīng)由一根精密齒輪同步。壓縮腔和特別形狀的螺桿形成了壓縮室。由于兩根螺桿反方向運轉(zhuǎn)，與吸氣點連接的腔室被放大，氣體被輸送至壓縮腔。腔室沿吸氣側(cè)到壓力側(cè)軸向移動。

在輸送期間，由于流量的增加使得腔室中大量的氣體增加。壓力側(cè)的腔室沿著腔壁軸向移動，體積逐漸減少直到螺桿的前表面打開壓力通道，預(yù)壓縮氣體通過壓力連接點被排出。冷卻水被獲得用于冷卻外面的腔壁。

部分規(guī)格的泵，附加的冷卻氣體能被導(dǎo)入泵體。

無油螺桿泵應(yīng)用

半導(dǎo)體、太陽能、化學(xué)、工業(yè)應(yīng)用、包裝、制藥、氣力輸送、研發(fā)/實驗室、表面技術(shù)/電子產(chǎn)品 

無油螺桿泵

螺桿真空泵100m3/hr—1000m3/hr,可無油運行，它涉及到低碳生活和低生命周期成本。它的用途廣泛，可用于食品包裝、半導(dǎo)體、太陽能等眾多領(lǐng)域，也可用于化學(xué)和制藥行業(yè)。

VSA和VSB真空泵已通過各種認(rèn)證。

優(yōu)勢一覽

無油式運行
較高真空
具體方案的應(yīng)用
可承受吸入水氣較高的空氣

無油螺桿真空泵是一種具有廣闊應(yīng)用前景和巨大市場潛力的干式真空泵。因為作為一種直排大氣的低真空泵，與旋片泵、滑閥泵等傳統(tǒng)油封泵相比，螺桿泵具有無油污染、排除水蒸氣和固體粉塵顆粒能力強等特點；與水環(huán)泵等液封泵相比，螺桿泵具有真空度高、能耗低、抽除可溶性蒸汽時無廢液產(chǎn)生的特點；與爪式泵、多級羅茨泵、渦旋泵等其它干式真空泵相比，螺桿泵具有抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長等特點。

　　目前，螺桿泵已被成功地應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)藥、食品、化工等眾多工業(yè)領(lǐng)域，所占真空泵市場份額逐年上升。